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JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

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  • 大小:12.66 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:机械标准
  • 更新日期:2022-03-01
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关键词:离子   真空技术   JB   4081   2011
资源简介
JB∕T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。
本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
替代JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991
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JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵资源截图