电子探针显微分析(ElectronProbeMicroanalysis,EPMA)是利用高能电子束与固体样品相互作用,在样品的微米尺度上激发出特征X射线、二次电子、背散射电子、阴极荧光等信号,通过这些信号进行成分、形貌、结构等显微分析。电子探针显微分析包括成分、形貌、结构等显微分析,其中成分分析包括定性分析和定量分析,电子探针定量分析的基本原理是通过测量、比较未知样品和已知元素含量的标准物质中微米尺度上元素的特征X 射线强度并经过校正计算,获得未知样品的微区元素含量。标准物质作为电子探针定量分析中采用的实物标准,对于定量分析结果的准确性具有至关重要的作用。
本规范对电子探针定量分析用标准物质的均匀性和稳定性评估、化学成分的定值等给出了具体的指导。相关技术要求参考采用了ISO14595微束分析-电子探针显微分析-标准物质技术规范(Microbeamanalysis-Electronprobemicroanalysis-Guidelinesforthespecificationofcertifiedreferencematerials(CRMs))中的有关内容。
本规范代替JJF 1029-1991 《电子探针定量分析用标准物质研制规范》。与JJF1029—1991相比,主要修订了包括均匀性评估中抽样原则、评估方法、数据处理
和接受准则等,稳定性评估中新增了长期稳定性评估要求。新增不确定度评定相关章节。
本规范的历次版本发布情况:
———JJF1029—1991。
