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JJF(冀) 213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜 校准规范

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：计量标准
  • 更新日期：2023-08-18
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关键词：校准   电子显微镜   尺寸   扫描   JJF
资源简介
本规范适用于放大倍数20k~200k 的关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）的校准。
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JJF(冀) 213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜 校准规范资源截图
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