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JJF 1238-2022 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范

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  • 大小：16.83 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：计量标准
  • 更新日期：2022-12-05
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关键词：校准   放电   静电   集成电路   设备
资源简介
本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备（人体放电HBM、机器放电MM和闩锁放电Latch-up模型）的校准。
JJF 1238—2022《集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范》，为适应相关国际测试标准的变化，增加了机器模型、闩锁模型放电波形的校准，完善了集成电路静电放电测试设备校准方法。
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