欢迎访问学兔兔标准下载网,学习、交流 分享 !
返回首页
|
搜索
首页
国家标准
行业标准
建筑标准
机械
电子信息
能源
环境保护
医药卫生
更多...
地方标准
团体标准
其他标准
国外标准
计量检定标准
计量技术标准
职业技能标准
合格评定
资讯
标准动态
标准公告
标准知识
标准目录
政策法规
标准公告
更多...
标准规范
当前位置:
首页
>
化工机械
>
气体贮罐
> GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
收藏
大小:
1.44 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
气体贮罐
更新日期:
2023-03-23
本站推荐:
升级会员
无限下载,节约时间成本!
关键词:
气体
硅烷
电子工业
GBT
资源简介
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。 它主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注入源和激光介质等,还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。分子式:SiH4。相对分子质量:32.117(按2011年国际相对原子质量)。
替代标准:GB/T 15909-2009
下载地址
点击进入下载地址列表
上一篇:
GB/T 24162-2022 汽车用压缩天然气金属内胆纤维环缠绕气瓶定期检验与评定
下一篇:
返回列表
立即下载
推荐信息
GB 12337-2014 钢制球形储罐 标准释义及算例
GB/T 29729-2013 氢系统安全的基本要求
GB/T 34542.1-2017 氢气储存输送系统 第1部分:通用要求
HG/T 3661.2-2016 工业燃气 切割焊接用丙烷
GB/T 19204-2020 液化天然气的一般特性
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分:正火处理的钢瓶
GB/T 12135-2016 气瓶检验机构技术条件
GB 4962-2008 氢气使用安全技术规程
SY/T 0608-2014 大型焊接低压储罐的设计与建造
GB/T 34510-2017 汽车用液化天然气气瓶