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GB/T 42674-2023 光学功能薄膜微结构厚度测试方法

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大小：1.45 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：检验检测
更新日期：2023-12-14

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关键词：薄膜厚度功能微结构光学

资源简介

本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)检测光学功能薄膜横截面微结构厚度(以下简称横截面厚度)的方法。
本文件适用于厚度不小于50 nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。

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