实用真空检漏技术
作者：曹慎诚 编著
出版时间： 2011年版
内容简介
《实用真空检漏技术》是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学基础上，结合近几年出现的新技术、新成果综合编写成的。内容丰富、技术先进。《实用真空检漏技术》共分7章，其中包括：检漏的一般概念、检漏的真空基础、常用的检漏方法、标准漏孔及其校准等。重点介绍了氦质谱检漏仪法和四极质谱计检漏法，并给出了应用实例。《实用真空检漏技术》主要为广大真空检漏技术人员提供服务，亦可作为真空检漏培训班教材使用，并为大专院校师生提供重要参考。
目录
第1章 检漏的一般概念
1.1 检漏技术的地位和应用
1.2 检漏技术的主要术语
1.3 压力与漏率关系
1.3.1 动态真空
1.3.2 静态真空
1.4 检漏的任务
1.4.1 真空抽不好的原因
1.4.2 不能保持压力的原因
1.4.3 检漏的任务
1.5 漏孔及其表示
1.5.1 焊缝及原材料的缺欠
1.5.2 常见漏孔的形式
1.5.3 漏孔出现位置及产生原因
1.5.4 漏孔大小的表示方法
1.5.5 影响漏孔漏率的因素
1.5.6 漏率的单位
1.5.7 漏孔对真空的影响
1.6 装置漏气的判定
1.6.1 真空装置漏气的判定
1.6.2 加压装置漏气的判定
1.6.3 检漏仪及其他方法
1.7 装置容许最大漏率估算
1.7.1 动态真空装置容许最大漏率
1.7.2 静态真空装置容许最大漏率
1.7.3 加压装置容许最大漏率
1.7.4 实际存在漏孔漏率分布
1.8 灵敏度与最小可检漏率
1.8.1 灵敏度
1.8.2 最小可检漏率
1.8.3 有效最小可检漏率
1.9 对检漏的一般要求
1.10 检漏方法的分类
1.10.1 加压检漏法
1.10.2 抽真空检漏法
1.10.3 其他方法
1.11 检漏方法、仪器和示漏物质选择原则
1.12 国产氦质谱检漏仪现状
第2章 检漏的真空基础
2.1 真空概念和测量单位
2.1.1 真空概念
2.1.2 真空度
2.1.3 真空区域划分
2.2 理想气体基本定律及状态方程
2.2.1 理想气体
2.2.2 波义耳定律
2.2.3 盖•吕萨克定律
2.2.4 查理定律
2.2.5 阿伏伽德罗定律
2.2.6 理想气体状态方程
2.2.7 道尔顿定律（分压力定律）
2.3 气体分子的平均自由程
2.3.1 平均自由程
2.3.2 单一气体分子的平均自由程
2.4 气体流量和管道流导
2.4.1 气体量
2.4.2 流量
2.4.3 流导
2.4.4 管道串联的流导
2.4.5 管道并联的流导
2.5 气体的流动状态
2.5.1 真空管道中的气体流动
2.5.2 漏孔中的气体流动
2.6 真空泵
2.6.1 油封式旋转机械真空泵
2.6.2 油扩散泵
2.6.3 涡轮分子泵
2.7 真空计
2.7.1 静态变形真空计
2.7.2 电阻真空计
2.7.3 热偶真空计
2.7.4 热阴极电离真空计
2.7.5 冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计）
2.7.6 分压力真空计
第3章 常用的检漏方法
3.1 静态升压法
3.2 静态降压法
3.3 气泡检漏法
3.3.1 气泡检漏法的原理
3.3.2 产生气泡的条件
3.3.3 产生压差的方法
3.3.4 打气试漏法及注意事项
3.4 高频火花检漏法
3.4.1 火花法
3.4.2 放电法
3.5 卤素检漏法
3.5.1 卤素检漏法原理及仪器结构
3.5.2 卤素检漏法注意事项
3.6 质谱仪检漏法
3.7 其他检漏方法
3.7.1 真空规法
3.7.2 离子泵检漏法
3.7.3 声波检漏法
3.7.4 氨检漏法
3.7.5 放射性同位素法
3.7.6 着色渗透法
3.7.7 荧光渗透法
3.7.8 正压漏率计算法
第4章 标准漏孔及其校准
4.1 真空标准漏孔
4.1.1 概述
4.1.2 真空标准漏孔的种类
4.1.3 真空标准漏孔的比较
4.2 正压标准漏孔
4.3 标准漏孔的校准及使用注意事项
第5章 氦质谱检漏仪法
5.1 氦质谱检漏仪工作原理
5.2 仪器结构
5.2.1 质谱室
5.2.2 真空系统
5.2.3 电气部分
5.2.4 普通型氦质谱检漏仪（ZJS-23B）与逆扩散型氦质谱检漏仪（ZQJ-230D）的比较
5.3 示漏气体选择
5.4 最小可检漏率与校准
5.4.1 检漏仪的最小可检漏率
5.4.2 有效最小可检漏率
5.4.3 检漏仪的最小可检漏率校准方法
5.4.4 有效最小可检漏率的校准方法
5.4.5 注意事项
5.5 反应时间与清除时间及其校准
5.6 氦质谱检漏仪的选择
5.7 氦质谱检漏技术
5.7.1 氦质谱检漏方法
5.7.2 实际漏孔漏率
5.7.3 大容器检漏
第6章 四极质谱计检漏法
6.1 四极质谱计的结构
6.2 四极质谱计的工作原理
6.3 四极质谱计的工作模式
6.3.1 模拟峰质量扫描
6.3.2 棒峰质量扫描
6.4 四极质谱计的性能指标
6.4.1 质量范围
6.4.2 分辨本领R
6.4.3 灵敏度S
6.4.4 最小可检分压力pmin
6.4.5 最高工作压力pmax
6.4.6 最小可检浓度
6.5 四极质谱计检漏方法
6.5.1 残气分析法
6.5.2 单一示漏气体检漏法
6.5.3 多种示漏气体检漏法
6.6 应用举例
6.7 质谱图的识别
第7章 检漏实践和检漏安全
7.1 检漏实践
7.1.1 检漏实践的原则——在真空工作的各个阶段都要考虑检漏工作
7.1.2 检漏工作人员与检漏试验室（车间）
7.1.3 如何进行检漏
7.2 检漏安全
7.2.1 安全事项
7.2.2 安全防护
7.2.3 压力防护
7.2.4 安全装置
7.2.5 示漏气体的危害与安全性
7.2.6 监测设备的类型
7.2.7 安全规则
参考文献
编后语
