内容介绍
微型机械，即微机电系统（micro electronmechanical system），是20世纪末兴起的、2l世纪初快速发展的高科技前沿领域。《微型机械导论》共11章，较全面、系统地介绍了微型机械及其发展历史，怎样制作微型机械。用通俗易懂的语言，分别介绍了用传统的超精密加工方法、半导体工艺加工方法和一些有发展前景的加工方法，特别对最常用的硅的体微型机械加工和表面微型机械加工做了较详细的介绍；介绍了微型传感器、微型执行器和微系统以及典型的实例；重点介绍了微型机械的设计、建模和检测技术；展望了微型机械的未来，对基础研究、制作工艺等各方面的发展做了阐述：此外，还介绍了国外对微型机械人才的培养情况。
