现代高纯气体：制取、分析与安全使用
作者：尹恩华 著
出版时间：2015年
内容简介
《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等，各流程无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》的核心。《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》介绍国内外最新文献，包括：吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是高纯气体分析的主体外，《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》介绍最新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体，使用的安全措施尤为重要，故《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》还介绍了容器、介质、传感器和废气的节能减排等相关知识。
目录
前言
第一章 高纯气体与电子学的关系
第一节 高纯气的分类和应用
一 引言
二 根据半导体工艺用气的分类
第二节 气体纯度对半导体器件（光伏 光纤）的影响
一 高纯气体在半导体中的具体应用分类
二 气体纯度和杂质及其表示方法
三 气体中的杂质分类
四 大规模集成电路对气体纯度的要求
五 气体中杂质对半导体器件（光伏 光纤 电光源）的影响
参考文献
第二章 气体纯化
第一节 吸附与吸附剂
一 吸附分离
二 吸附剂的物理性质
三 吸附剂及其他纯化材料和性能
四 气固表面吸附平衡
五 吸附剂的具体应用
六 分子筛的其他应用
七 吸附树脂
第二节 精馏
一 蒸馏与精馏
二 气液相平衡及计算
三 相平衡常数及计算
四 简单蒸馏
五 精馏
六 精馏塔
第三节 其他纯化气体方法
一 膜分离技术
二 催化剂
三 吸杂剂
四 熔体合金
五 钯合金扩散净化
六 贮氢材料
七 离子液体
第四节 现代电子气体的制造和纯化
一 新型的吸附（催化）剂
二 周期表ⅠA族金属吸附剂（scavener）
三 电子用特气的脱除痕量水
四 超低发射（ultralowemision，ULE）碳
五 终端低温纯化器
六 各种电子气的纯化
七 电化学制备砷烷气体
八 三氟化氮萃取精馏纯化
九 六氟化钨的合成和纯化
十 六氟化钼的制备和纯化
十一 六氟化硫的合成和纯化
十二 氯气等卤化物气体纯化
十三 金属烷基化合物的制备和纯化
十四 三甲基硼的特点及纯化技术指标
十五 多级离心分离技术应用于气体纯化
十六 制备色谱
第五节 混合气的配制和纯化
一 常用集成电路混合气
二 电光源用混合气
三 激光混合气
四 电子混合气的典型浓度和技术指标
五 电子混合气配制精度
六 混合气的纯化——-镍磷催化剂制备
参考文献
附录
第三章 高纯气体分析
第一节 气相色谱分析
一 气相色谱法分析的对象
二 气相色谱分析仪器简介和方法
三 色谱术语和色谱峰
四 色谱的基本理论
五 色谱仪的构成
六 气相色谱痕量分析
第二节 痕量水 氧的分析
一 痕量水分析
二 痕量氧分析
第三节 粒子分析
一 引言
二 微粒（金属杂质）对电子工业的重要性
三 大气尘的粒度分布
四 粒径
五 测定方法
第四节 现代高纯气体中痕量杂质分析
一 CMS测定砷烷中杂质
二 CICPMS锗烷中磷烷分析
三 CC多维色谱技术
四 浓缩（富集）法分析高纯气体中杂质实例
五 分析仪器小型化
六 其他的痕量气体分析仪器和分析方法
参考文献
第四章 压力容器——-气瓶
第一节 气瓶
一 定义
二 气瓶的安全监督和管理
三 按安全管理的需要分类
四 气瓶命名规则
五 气瓶标志
第二节 气瓶附件
一 气瓶阀
二 气瓶压力泄放装置和回火防止器
第三节 低温液体贮运设备及其附件
一 引言
二 低温液体的特性和应用
第四节 气体安全和安全技术
一 燃烧和火灾事故
二 爆炸事故及防爆
三 气体毒物
第五节 现代气体贮存介质和容器
一 引言
二 离子液体
三 氟金属骨架材料
四 PP（polymerizedpolymeric）和POP（porousoranicpolymer）
参考文献
附录
附图
第五章 危险性气体的检测和节能减排
第一节 气敏传感器
一 引言
二 常见气敏元件的分类
三 质量传感器
四 气敏传感器的应用
五 基于新材料和MEMS的传感技术
六 选择性的气敏传感器
第二节 节能减排实例
一 节能减排实例一
二 节能减排实例二
三 节能减排实例三
四 节能减排实例四
五 节能减排实例五
六 节能减排实例六
七 节能减排实例七
参考文献
附录
附录1：常见电子气体国家标准（B/T） 行业标准（H）编号列表（部分）
附录2：国外电子气体标准（部分）296附录3：常用气相色谱图
