抛光剂配方与生产
出版时间：2012年
内容简介
《抛光剂配方与生产》收集了200余种抛光剂制备实例，详细介绍了产品的原料配比、制备方法、原料配伍、应用和特性。全书共分为四大部分，分别是：金属抛光剂，半导体、集成电路等电子工业用抛光剂，玻璃、陶瓷、晶体等无机材料用抛光剂，其他抛光剂。
目录
一、金属抛光剂H62黄铜抛光液
K金首饰无氰电解抛光液
SiSb基相变材料用化学机械抛光液
ULSI铜表面高精密加工过程中化学机械抛光液
不锈钢化学抛光液（1）
不锈钢化学抛光液（2）
不锈钢化学抛光液（3）
不锈钢制品的化学抛光剂
防潮型白抛光膏
防冻型抛光液
高纯度纳米金刚石抛光膏
高纯度纳米金刚石抛光液
高精度氧化铝抛光液
高浓度Ti阻挡层表面化学机械抛光液
高去除率、低损伤的铜化学机械抛光液
含氢氟酸的铝型材酸性抛光剂
核/壳型复合纳米磨料硅片抛光液
核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液
化学机械抛光液（1）
化学机械抛光液（2）
化学机械抛光液（3）
化学机械抛光液（4）
化学机械抛光液（5）
化学机械抛光液（6）
化学机械抛光液（7）
化学机械抛光液（8）
化学机械抛光液（9）
化学机械抛光液（10）
化学机械抛光液（11）
化学机械抛光液（12）
化学机械抛光液（13）
化学机械抛光液（14）
化学机械抛光液（15）
化学机械抛光液（16）
化学机械抛光液（17）
化学机械抛光液（18）
化学机械抛光液（19）
化学机械抛光液（20）
化学机械抛光液（21）
化学机械抛光液（22）
化学机械抛光液（23）
化学机械抛光液（24）
化学机械抛光液（25）
化学机械抛光液（26）
化学机械抛光液（27）
化学机械抛光液（28）
化学机械抛光液（29）
化学机械抛光液（30）
化学机械抛光液（31）
化学机械抛光液（32）
化学机械抛光液（33）
化学机械抛光液（34）
化学机械抛光液（35）
化学机械抛光液（36）
化学机械抛光液（37）
化学机械抛光液（38）
化学机械抛光液（39）
化学机械抛光液（40）
化学机械抛光液（41）
化学机械抛光液（42）
化学机械抛光液（43）
化学机械抛光液（44）
化学机械抛光液（45）
化学机械抛光液（46）
化学机械抛光液（47）
化学机械抛光液（48）
化学机械抛光液（49）
化学机械抛光液（50）
化学机械抛光液（51）
化学机械抛光液（52）
化学机械抛光液（53）
化学机械抛光液（54）
化学机械抛光液（55）
化学机械抛光液（56）
化学机械抛光液（57）
化学机械抛光液（58）
化学抛光剂
黄色抛光膏
碱性硅晶片抛光液
降低铜化学机械抛光粗糙度的抛光液
金属表面抛光膏
石脑油金属抛光剂
矿物油金属抛光剂
水溶胶金属抛光液
金属铜的抛光液（1）
金属铜的抛光液（2）
金属振动抛光液
铝合金电解抛光液
铝合金用抛光液
铝和铝合金的化学抛光液
铝及铝合金材料抛光液
铝及铝合金的电化学抛光液
铝制品化学抛光液
马氏体高合金耐热钢金相检测抛光剂
镁合金用抛光液
镁铝合金材料表面化学机械抛光液
纳米氧化铈复合磨粒抛光液
浓酸抛光剂
酸抛光液
浅沟槽隔离抛光液
取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合
金表面的抛光液
水基金刚石抛光液
水基纳米金刚石抛光液
钛及钛合金抛光液
钛镍合金电化学抛光液
钽化学机械抛光液
铜抛光中用的纳米二氧化硅磨料
抛光液
铜制品抛光剂
钨抛光液（1）
钨抛光液（2）
锌和铬加工用的纳米二氧化硅磨料抛光液
医用NiTi形状记忆合金抛光液
用于不锈钢镜面的抛光液
用于化学机械研磨的抛光液
用于钽阻挡抛光的化学机械的抛光液
用于铜制程的化学机械抛光液（1）
用于铜制程的化学机械抛光液（2）
用于钨化学机械抛光的抛光液
用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液
用于阻挡层抛光的化学机械抛光液
有色金属材料表面清洁抛光膏
阻挡层化学机械抛光液
用于低碳钢纳米压入试样的抛
光液200二、半导体、集成电路等电子工业用抛光剂半导体晶片精密化学机械抛光剂
半导体锑化铟化学机械抛光液
超大规模集成电路多层铜布线化
学机械全局平面化抛光液
超大规模集成电路多层铜布线中
铜与钽的化学机械全局平面化抛光液
超大规模集成电路硅衬底的化学机械抛光液
超大规模集成电路铝布线抛光液（1）
超大规模集成电路铝布线抛光液（2）
大尺寸硅片用化学机械抛光液
低介电材料抛光液
多晶硅化学机械抛光液（1）
多晶硅化学机械抛光液（2）
多晶硅抛光液
高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光液
高精度复合抛光液
高精度抛光液
硅单晶衬底材料抛光液
含有混合磨料的低介电材料抛光液（1）
含有混合磨料的低介电材料抛光液（2）
化学机械抛光半导体晶片用的抛光液
化学机械抛光单晶氧化镁基片
用的抛光液
极大规模集成电路多层布线中
钨插塞的抛光液
集成电路铜互连结构中铜的电
化学机械抛光液
碱性计算机硬盘抛光液
降低硅片表面微划伤的抛光液
介电层抛光液
晶圆粗抛光液
晶圆精抛光液
具有特殊缓冲体系的硅片化学机械抛光液
可循环使用的抛光液
蓝宝石衬底材料CMP抛光液
蓝宝石衬底抛光液（1）
蓝宝石衬底抛光液（2）
蓝宝石衬底加工专用抛光液
高效高精度蓝宝石抛光液
用于蓝宝石圆棒胶木轮的抛光膏
微碱性蓝宝石抛光液
纳米二氧化硅抛光剂
抛光低介电材料的抛光液
硬盘磁头的抛光液
硬盘磷化铟基板CMP抛光液
用于大规模集成电路多层布线
中钨插塞的抛光液
用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液
用于多晶硅抛光的化学机械抛光液
用于计算机硬盘基片化学机械抛光的抛光液
用于抛光半导体封盖层的抛光液
用于抛光多晶硅的化学机械抛光液（1）
用于抛光多晶硅的化学机械抛光液（2）
用于抛光多晶硅的化学机械抛光液（3）
用于抛光多晶硅的化学机械抛光液（4）
用于砷化镓晶片的抛光液
用于硬盘NiP的电化学机械抛光的抛光液
用于硬盘基片的抛光液
用于锗晶片的抛光液
有机碱腐蚀介质的稀土抛光液
硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液
硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液
硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液
纳米级抛光液
锑化铟材料表面化学机械抛光液
三、玻璃、陶瓷、晶体等无机材料用抛光剂铌酸锂晶体抛光液
非水基磁流变抛光液
电子玻璃的纳米SiO2磨料抛光液
二氧化硅介质化学机械抛光液
高效无划伤玻璃抛光液
磷酸氧钛钾晶体CMP抛光液
纳米二氧化硅磨料抛光液
微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液（1）
微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液（2）
微晶玻璃抛光液
硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液
用于玻璃材料的抛光液
用于大尺寸金刚石晶圆超精密低
损伤抛光的抛光液
用于光学加工的水基磁流变抛光液
用于介质材料平坦化的抛光液
用于磷酸氧钛钾晶体的化学机械抛光液
用于铌酸锂光学晶片研磨抛光的抛光液（1）
用于铌酸锂光学晶片研磨抛光的抛光液（2）
用于抛光低介电材料的化学机械抛光液
用于抛光低介电材料的抛光液
用于抛光低介电材料的抛光液
用于硼酸锂铯晶体的化学机械无水抛光液
用于软脆易潮解晶体的非水基无磨料抛光液
用于微晶玻璃研磨抛光的抛
光液314四、其他抛光剂用于表面抛光为10级的宝石圆球的抛光液
车用多功能一体化清洁抛光剂
环保型汽车划痕抛光膏
交联型环保汽车抛光剂
混合抛光液
不含氟的抛光剂
除藻型抛光液
低光泽抛光剂（1）
低光泽抛光剂（2）
活性抛光剂
木质地板、家具护理用的抛光组合物
木质油精地板、家具上光保护剂（1）
木质油精地板、家具上光保护剂（2）
地板保养上光剂
抛光砖、石材、人造石翻新用抛光剂
抛光砖专用化学抛光剂
皮革、石材增光保护剂
石板材上光蜡
石材保护剂
石材镜面效果抛光膏
石材上光蜡
新型抛光剂
用于二氧化硅介质的抛光液
参考文献
