真空计量新技术

真空计量新技术
出版时间：2013年
内容简介
　　《真空计量新技术》介绍了当今真空计量科学技术的发展水平，特别是详细介绍了我国在真空计量研究方面的新技术。全书共分9章。第1章介绍了与真空计量相关的基本知识和物理基础。第2-5章介绍了真空全压力计量技术。第6-9章分别讨论了真空分压力计量技术、真空漏率计量技术、正压漏率计量技术和虚拟仪器在真空计量中的应用技术，并着重介绍了适合空间环境探测用小型磁偏转质谱计的研制、固定流导法校准真空漏孔技术、恒压法校准正压漏孔技术，以及虚拟仪器技术在恒压式气体微流量计中的应用情况。《真空计量新技术》内容新颖，实用性强，适合于从事与真空计量技术工作有关的工程技术人员、科研人员使用，亦可供大专院校相关专业的师生阅读。
目录
前言
第1章 真空计量基础知识
1.1 真空的概念和测量单位
1.1.1 真空的概念
1.1.2 真空度及测量单位
1.2 真空区域的划分
1.3 真空技术与真空计量
1.4 真空计量的物理基础——气体分子运动论
1.4.1 气体分子运动论的基本原理
1.4.2 气体的压力
1.4.3 气体分子的速率分布——麦克斯韦速率分布
1.4.4 气体分子平均自由程
1.4.5 电子碰撞气体引起的电离
1.4.6 分子从表面的反射——余弦定律
1.4.7 热流逸现象
1.4.8 气体在管道中的流动
1.4.9 气体通过小孔的流动
1.4.10 用流导的计算
第2章 超高／极高真空测量技术
2.1 电离规的分类
2.2 热阴极电离规（发射阴极电离规）
2.3 冷阴极电离规（交叉场电离规）
2.4 新型场致发射阴极电离规
2.4.1 金属微尖（阵列）场致发射阴极电离规
2.4.2 碳纳米管（阵列）场致发射阴极电离规
2.5 电离规的小型化
2.6 真空的激光电离测量技术
2.7 我国在UHV/XHV测量方面的研究进展
2.7.1 电离规的研制
2.7.2 电离规计量学特性研究
2.8 小结
第3章 静态膨胀法真空标准校准下限延伸技术
3.1 研究现状
3.2 校准下限的延伸方法
3.3 静态膨胀法真空标准装置的组成
3.4 校准方法
3.4.1 一级膨胀法
3.4.2 二级膨胀法
3.4.3 三级膨胀法
3.5 容积比的测量及不确定度评定
3.5.1 测量方法
3.5.2 测量结果
3.5.3 测量不确定度评定
3.6 性能测试
3.6.1 极限真空的获得
3.6.2 非蒸散型吸气剂泵抽气特性的研究
3.6.3 静态压力变化的测试
3.6.4 分离规的校准
3.6.5 测量不确定度评定
3.7 小结
第4章 分流法超高／极高真空校准技术
4.1 研究现状
4.2 分流法基本思想
4.3 分流法UHV/XHV校准装置的组成
4.4 分流法校准原理
4.5 分流法UHV/XHV校准装置的参数确定
4.5.1 容积的测量
4.5.2 气体流量的测量
4.5.3 小孔流导c15的测量
4.5.4 小孔流导比Rc的测量
4.5.5 小孔流导c9的确定
4.5.6 返流比Rp的测量
4.6 分流法UHV/XHV校准装置的性能测试
4.6.1 极限真空度测试
4.6.2 非蒸散型吸气剂泵的抽气特性
4.6.3 分离规的校准
4.6.4 冷阴极电离规的校准
4.6.5 测量不确定度评定
4.6.6 测量不确定度验证
4.7 小结
第5章 转换器型方向规及其校准技术
……
第6章 小型磁偏转质谱计
第7章 固定流导法校准真空漏孔技术
第8章 恒压法校准正压漏孔技术
第9章 虚拟仪器在真空计量中的应用技术
参考文献