极限制造
作者：高治军，许可著
出版时间：2018年版
内容简介
《极限制造》以典型纳米器件——单壁碳纳米管场效应晶体管（SWCNT Field Effect Transistor，SWCNTFET）装配制造为范例，面向纳米器件规模化制造，针对SWCNT FET规模化制造市场需求，系统研究了基于浮动电势和介电泳原理的纳米器件装配方法，设计实现了基于浮动电势介电泳的纳米器件批量化装配技术，实验结果验证了研究方法的有效性和可行性，为纳米电子器件制造技术发展提供了有意义的理论指导和实验方法。
目录
第1章 纳米器件装配制造技术
1．1 概述
1．2 纳电子器件装配制造研究现状
1．3 机器人化纳米操作系统研究现状
1．4 纳米器件装配制造主要问题
1．5 纳米器件的规模化装配制造关键技术
1．6 机器人化纳米操作系统的结构、主要问题与关键技术
第2章 纳米材料预处理方法研究
2．1 单壁碳纳米管结构和性质
2．2 单壁碳纳米管束的分散方法研究
2．3 单壁碳纳米管密度离心纯化方法研究
2．4 单壁碳纳米管预处理实验研究
第3章 基于介电泳原理的SwCNT装配方法研究
3．1 介电泳电场的工作原理
第4章 碳纳米管器件的装配制造研究
4．1 引言
4．2 单壁碳纳米管纳米器件的装配制造实验研究
4．3 单壁碳纳米管纳米器件的批量化装配实验研究
第5章 碳纳米管气体传感器制作及特性测试研究
5．1 引言
5．2 基于纳米材料的气体传感器实验平台搭建
5．3 纳电子器件测试技术
5．4 基于单壁碳纳米管气体传感器的气敏特性检测
第6章 纳米传感器的介电泳组装实验研究
6．1 引言
6．2 金纳米粒子的介电泳组装实验研究
6．3 金纳米粒子传感单元对气体流量的检测
6．4 碳纳米管的介电泳组装实验研究
6．5 碳纳米管对次氯酸钠的检测实验
第7章 机器人化纳米操作系统驱动与定位研究
7．1 压电陶瓷驱动器电压一位移非线性分析与驱动方法
7．2 三维纳米力反馈与控制实验
第8章 基于混合纳米材料电子鼻制造研究
8．1 基于实时反馈的纳电子器件规模化实验平台搭建
8．2 基于实时反馈的纳电子器件规模化实验
参考文献
