电子封装技术与可靠性
作者:(美)阿德比利,(美)派克 著
出版时间:2012年版
丛编项: 电子封装技术丛书
内容简介
本书是专注于电子封装技术可靠性研究的Houston大学的Haleh Ardebili教授以及Maryland大学的Michael GPecht教授关于微电子封装技术及其可靠性最新进展的著作。作者在描述塑封技术基本原理,讨论封装材料及技术发展的基础上,着重介绍了封装缺陷和失效、失效分析技术以及微电子封装质量鉴定及保证等与封装可靠性相关的内容。本书共分为8章。第1章介绍电子封装及封装技术的概况。第2章着力介绍塑封材料,并根据封装技术对其进行了分类。第3章主要关注封装工艺技术。第4章讨论封装材料的性能表征。第5章描述封装缺陷及失效。第6章介绍缺陷及失效分析技术。第7章主要关注封装微电子器件的质量鉴定及保证。第8章探究电子学、封装及塑封技术的发展趋势以及所面临的挑战。本书不仅涉及微电子封装材料和工艺,而且涉及封装缺陷分析技术以及质量保证技术;不仅有原理阐述,而且有案例分析。本书是电子封装制造从业者一本重要的参考读物,可在封装技术选择、与封装相关的缺陷及失效分析以及质量保证及鉴定技术的应用等方面提供重要的技术指导。本书十分适合于对电子封装及塑封技术感兴趣的专业工程师及材料科学家,电子行业内的企业管理者也能从本书中获益。另外本书还可作为具有材料学或电子学专业背景的高年级本科生及研究生的选用教材。
目录
第1章电子封装技术概述1
11历史概况1
12电子封装5
13微电子封装8
1312D封装9
1323D封装14
14气密性封装22
141金属封装23
142陶瓷封装24
15封装料24
151塑封料24
152其它塑封方法25
16塑封与气密性封装的比较25
161尺寸及重量26
162性能26
163成本26
164气密性27
165可靠性28
166可用性29
17总结30
参考文献30
第2章塑封材料34
21化学性质概述34
211环氧树脂35
212硅树脂36
213聚氨酯37
214酚醛树脂39
22模塑料40
221树脂41
222固化剂或硬化剂44
223促进剂45
224填充剂45
225偶联剂49
226应力释放剂50
227阻燃剂51
228脱模剂52
229离子捕获剂52
2210着色剂53
2211封装材料生产商和市场条件53
2212商业用模塑料特性54
2213新材料的发展57
23顶部包封料60
24灌封料61
241Dow Corning材料61
242GE电子材料62
25底部填充料65
26印制封装料66
27环境友好型或“绿色”封装料67
271有毒的阻燃剂67
272绿色封装材料的发展70
28总结78
参考文献78
第3章封装工艺技术84
31模塑技术84
311传递模塑工艺84
312注射模塑工艺91
313反应注射模塑工艺92
314压缩模塑93
315模塑工艺比较93
32顶部包封工艺93
33灌封工艺95
331单组分灌封胶97
332双组分灌封胶97
34底部填充技术97
341传统的流动型底部填充98
342非流动型填充99
35印刷封装技术99
362D晶圆级封装101
373D封装103
38清洗和表面处理107
381等离子清洗108
382去毛边109
39总结110
参考文献111
第4章封装性能的表征114
41工艺性能115
411螺旋流动长度115
412凝胶时间116
413流淌和溢料116
414流变性兼容性116
415聚合速率117
416固化时间和温度118
417热硬化118
418后固化时间和温度119
42湿热机械性能119
421线膨胀系数和玻璃化转变温度120
422热导率123
423弯曲强度和模量124
424拉伸强度、弹性与剪切模量及伸长率125
425黏附强度126
426潮气含量和扩散系数127
427吸湿膨胀系数131
428气体渗透性133
429放气133
43电学性能134
44化学性能136
441离子杂质(污染等级)136
442离子扩散系数136
443易燃性和氧指数136
45总结137
参考文献138
第5章封装缺陷和失效142
51封装缺陷和失效概述142
511封装缺陷142
512封装失效142
513失效机理分类146
514影响因素147
52封装缺陷149
521引线变形149
522底座偏移151
523翘曲152
524芯片破裂154
525分层154
526空洞155
527不均匀封装156
528毛边157
529外来颗粒157
5210不完全固化157
53封装失效157
531分层157
532气相诱导裂缝(爆米花现象)161
533脆性断裂164
534韧性断裂166
535疲劳断裂167
54加速失效的影响因素168
541潮气168
542温度171
543污染物和溶剂性环境171
544残余应力172
545自然环境应力172
546制造和组装载荷173
547综合载荷应力条件173
55总结174
参考文献174
第6章微电子器件封装的缺陷及失效分析技术182
61常见的缺陷和失效分析程序182
611电学测试183
612非破坏性评价183
613破坏性评价183
62光学显微技术188
63扫描声学显微技术(SAM)189
631成像模式190
632C模式扫描声学显微镜(CSAM)190
633扫描激光声学显微镜(SLAMTM)194
634案例研究196
64X射线显微技术200
641X射线的产生和吸收201
642X射线接触显微镜203
643X射线投影显微镜203
644高分辨率扫描X射线衍射显微镜204
645案例分析:塑封器件封装205
65X射线荧光光谱显微技术206
66电子显微技术206
661电子样品相互作用207
662扫描电子显微技术(SEM)208
663环境扫描电子显微技术(ESEM)209
664透射电子显微技术(TEM)210
67原子力显微技术212
68红外显微技术212
69失效分析技术的选择213
610总结216
参考文献216
第7章鉴定和质量保证219
71鉴定和可靠性评估的简要历程219
72鉴定流程概述222
73虚拟鉴定225
731寿命周期载荷225
732产品特征227
733应用要求228
734利用PoF方法进行可靠性预计228
735失效模式、机理及其影响分析(FMMEA)230
74产品鉴定231
741强度极限和高加速寿命试验(HALT)231
742鉴定要求233
743鉴定试验计划234
744模型和验证235
745加速试验235
746可靠性评估238
75鉴定加速试验238
751稳态温度试验239
752温度循环试验239
753湿度相关的试验240
754耐溶剂试验243
755盐雾试验243
756可燃性和氧指数试验243
757可焊性试验244
758辐射加固244
76工业应用244
77质量保证247
771筛选概述247
772应力筛选和老化248
773筛选249
774根本原因分析252
775筛选的经济性252
776统计过程控制253
78总结254
参考文献255
第8章趋势和挑战259
81微电子器件结构和封装259
82极高温和极低温电子学268
821高温268
822低温270
83新兴技术271
831微机电系统271
832生物电子器件、生物传感器和生物MEMS275
833纳米技术和纳米电子器件278
834有机发光二极管、光伏和光电子器件280
84总结283
参考文献284
术语表288
计量单位换算表301