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MEMS可靠性/微纳系统系列译丛书

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资源简介
MEMS可靠性
作者:(日)田畑修,(日)土屋智由 著,宋竞 等译
东南大学
出版时间:2009-3-1
丛编项:微纳系统系列译丛书

 《MEMS可靠性》是国际上MEMS可靠性领域第一本专著,共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法,包括MEMS材料的可靠性,微纳压痕仪,鼓胀测试,弯曲测试,单轴张应力测试,片上测试;第二部分论述MEMS器件的可靠性,包括压力传感器可靠性,惯性传感器可靠性,RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。内容新颖,数据充实,适合于微机电系统、微电子、光电子、传感器、通讯技术领域的高年级大学生、研究生和工程技术人员参考
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