氧化锌薄膜材料
作者：刘耀东 著
出版时间：2013年版
内容简介
《氧化锌薄膜材料》由刘耀东著。《氧化锌薄膜材料》共七章包括ZnO结构及性质、ZnO的掺杂特性、不同铝含量沉积ZnO：Al薄膜、ZnO薄膜的低温沉积、N掺杂ZnO薄膜及Al、N共掺杂、ZnO结型器件、ZnO薄膜的应用、ZnO薄膜的晶体结构、ZnO薄膜的光电特性等内容。
目录
第一章ZnO结构及性质
1.1引言
1.2ZnO薄膜的晶体结构
1.3ZnO薄膜的光电特性
1.4ZnO薄膜的发光机理
1.5ZnO薄膜的研究现状
1.5.1ZnO的掺杂特性和pn结的制作
1.5.2ZnO薄膜的应用前景
1.6ZnO薄膜的制备方法
1.6.1分子束外延
1.6.2金属有机物气相外延
1.6.3纯锌膜氧化法
1.6.4磁控溅射法
1.6.5脉冲激光沉积法
1.6.6溶胶一凝胶法
1.6.7喷雾热解法
1.6.8原子层外延法
参考文献
第二章ZnO的掺杂特性
2.1引言
2.2ZnO的n型掺杂
2.2.1Al掺杂ZnO薄膜
2.2.2在有机基体上沉积ZnO:Al薄膜
2.2.3F掺杂ZnO薄膜
2.2.4Mn掺杂ZnO薄膜
2.2.5Ga掺杂ZnO薄膜
2.3ZnO的p型掺杂
2.3.1N掺杂ZnO薄膜
2.3.2P掺杂ZnO薄膜
2.3.3Ag掺杂ZnO薄膜
2.4微观组织、结构特性和发光性能的表征
2.5脉冲激光沉积法制备薄膜的工艺参数
2.6ZnO的N及Al、N共掺杂
参考文献
第三章不同铝含量沉积ZnO:Al薄膜
3.1引言
3.2Al含量对ZnO:Al薄膜结构的影响
3.3Al含量对ZnO:Al薄膜发光性能的影响
3.4Al含量对ZnO:Al薄膜电学性能的影响
3.5基体温度对ZnO:Al薄膜结构特性和透光率的影响
3.6不同Al含量对ZnO:Al薄膜透光性能的影响
3.7基体温度对ZnO:Al薄膜发光性能的影响
参考文献
第四章ZnO薄膜的低温沉积
4.1引言
4.2室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜结构的影响
4.3室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜可见光波段透光率的影响
4.4室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜PL谱的影响
4.5在有机基体上沉积ZnO:Al薄膜
4.5.1氧气压力对ZnO:Al薄膜结构特性的影响
4.5.2基体温度对ZnO:Al薄膜结构特性的影响
4.5.3有机基体上沉积ZnO:AJ薄膜的发光性能
参考文献
第五章N掺杂ZnO薄膜及Al、N共掺杂
5.1引言
5.2N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的结晶性能
5.3N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的发光性能
5.4N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的电学性能
5.5N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的XPS分析
参考文献
第六章ZnO结型器件
6.1引言
6.2氧化锌同质pn结
6.3氧化锌异质pn结
6.3.1氧化锌与GaN异质结的能带结构
6.3.2ZnO/GaN异质结发光二极管
参考文献
第七章ZnO薄膜的应用
7.1引言
7.2ZnO气敏元件
7.3ZnO透明导电薄膜
7.4ZnO薄膜晶体管
7.5ZnO发光器件
7.6ZnO光电导紫外探测器
7.7ZnO声表面波器件
参考文献
