工程纳米测量基础 第二版
作者： （英）理查德·利奇 著；袁道成 等译
出版时间： 2017年版
内容简介
理查德·利奇著的《工程纳米测量基础(第2版)》从先进制造技术质量控制角度，介绍了测量基础知识、精密测量仪器设计原则、长度测量溯源、位移测量、表面形貌测量仪器、扫描探针和粒子束显微镜、表面形貌特征描述、坐标测量、质量和力的测量的测量国际单位及其在NPL的实现等。本书可作为测量技术、机械设计和机械加工等相关专业研究人员、高校师生以及工程技术人员的参考用书，也可用作高校相关专业的基础教材。
目录
第1章 微纳米和先进制造中的测量技术
1.1 工程纳米测量的定义
1.2 本书主要内容
参考文献
第2章 测量基础知识
2.1 测量技术简介
2.2 测量单位和国际单位制
2.3 长度
2.4 质量
2.5 力
2.6 角度
2.7 可溯源性
2.8 准确度、精密度、分辨力、误差和不确定度
2.9 激光
参考文献
第3章 精密测量仪器设计原则
3.1 几何问题
3.2 运动学设计
3.3 动力学
3.4 阿贝原则
3.5 弹性压缩
3.6 力回路
3.7 材料
3.8 对称
3.9 隔振
参考文献
第4章 干涉法长度溯源
4.1 长度溯源
4.2 量块：既是量具又是溯源工具
4.3 干涉测量技术简介
4.4 干涉仪设计
4.5 干涉法量块测量
参考文献
第5章 位移测量
5.1 位移测量概述
5.2 基本术语
5.3 干涉法位移测量
5.4 应变传感器
5.5 电容位移传感器
5.6 涡流和电感位移传感器
5.7 光学编码器
5.8 光纤传感器
5.9 其他光学位移传感器
5.10 位移传感器校准
参考文献
第6章 表面形貌测量仪器
6.1 表面形貌测量简介
6.2 空间波长范围
6.3 经典表面形貌测量仪器的历史背景
6.4 表面轮廓测量
6.5 面域表面形貌测量
6.6 表面形貌测量仪器
6.7 光学仪器
6.8 电容式仪器
6.9 气动仪器
6.10 表面形貌测量仪器校准
6.11 表面形貌测量不确定度
6.12 计量特性
6.13 表面形貌测量仪器比对
6.14 空间频率响应确定
6.15 软件测量标准
参考文献
第7章 扫描探针与粒子束显微镜
7.1 扫描探针显微镜
7.2 扫描隧道显微镜
7.3 原子力显微镜
7.4 原子力显微镜测试物理量的实例
7.5 测量纳米颗粒的扫描探针显微镜
7.6 电子显微镜
7.7 其他粒子束显微镜技术
参考文献
第8章 表面形貌表征
8.1 表面形貌表征概况
8.2 表面轮廓表征
8.3 表面形貌的面域表征
8.4 分形方法
8.5 轮廓和面域表征的比较
参考文献
第9章 坐标测量
9.1 坐标测量机简介
9.2 坐标测量机的误差来源
9.3 坐标测量机的可溯源性、校准和性能验证
9.4 微坐标测量机
9.5 微坐标测量机测头
9.6 微坐标测量机的验证和校准
参考文献
第10章 质量和力的测量
10.1 传统质量测量的可溯源性
10.2 小质量测量
10.3 小力值测量
参考文献
附录A：测量的国际单位及其在NPL的实现
附录B：SI导出单位
