光栅莫尔条纹纳米级细分技术
作者：常丽 著
出版时间：2015年版
内容简介
光栅因其具有精度高、成本低等优势，在传统的数显数控行业得到了非常广泛的应用。随着现代工业的飞速发展，对大量程纳米级位移测量与控制的需求不断扩大，基于光栅的大量程纳米级测量与控制的研究得到迅速发展。《光栅莫尔条纹纳米级细分技术》以近年来的研究重点作为应用广泛的低线密度光栅传感器为研究对象，以实际应用工况为前提，以实现低成本的大量程纳米级位移测量为目标，利用现代信号处理理论研究新型的莫尔条纹细分方法和光栅栅距在线测量方法，详细阐述了所提出方法的原理及实现过程。在此基础上，进一步设计了新型光栅纳米测量装置，为实现产品化奠定了基础。
目录
1绪论
1.1 莫尔条纹原理及应用
1.2 莫尔条纹细分意义
1.3 光栅纳米测量的研究现状及发展趋势
2莫尔条纹细分技术
2.1 莫尔条纹细分基本原理
2.2 传统的低倍莫尔条纹细分方法
2.3 现有的高倍莫尔条纹细分方法
2.4 莫尔条纹细分技术发展趋势
2.5 本书的研究工作
3莫尔条纹特性分析
3.1 光栅传感器特性分析
3.2 莫尔条纹空间特性分析
3.3 莫尔条纹时间特性分析
4基于时间信号的莫尔条纹小波细分法
4.1 光栅传感器输出信号采集与处理
4.2 小波细分法
4.3 仿真与实验
5基于空间信号的莫尔条纹校正傅里叶细分法
5.1 莫尔条纹空间信号采集与分析
5.2 基于傅里叶变换的细分原理
5.3 基于CCD采集的空间信号的校正傅里叶细分法
5.4 基于CMOS采集的空间信号的校正多相位傅里叶细分法
6光栅栅距动态测量
6.1 光栅栅距误差分析
6.2 现有的栅距测量方法
6.3 光栅栅距动态测量方法
6.4 累积误差和细分误差修正
6.5 动态栅距测量在实际应用中的意义
7新型光栅纳米测量装置
7.1 两种细分方法适用的场合
7.2 关键问题的进一步解决方案
7.3 新型光栅纳米测量装置构建
参考文献
