压电薄膜材料与器件制备技术
作者：张涛 著
出版时间：2012年
内容简介
《学术专著·材料科学与工程：压电薄膜材料与器件制备技术》主要讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术，主要内容分为引言、上篇、下篇和后记。在引言部分，对全书内容做了总体介绍。在上篇中，介绍了薄膜材料基础知识和基本制备方法，对当前国内压电薄膜的研究进展做了简单陈述，主要阐述高压电性PzT基三元系铁电薄膜PMnN—PZT的制备与表征。在下篇中，介绍了压电器件的分类和声学器件的基础知识与进展，主要阐述了薄膜体声波谐振器（FBAR）的理论仿真、模拟与性能优化方法。在后记部分，对全书内容进行了总结。《学术专著·材料科学与工程：压电薄膜材料与器件制备技术》可作为声学、材料学、微电子学等相关专业研究生的教学参考用书，也可供声学、压电学、薄膜材料和微型机电器件研究领域的科研工作人员参考。
目录
引言
上篇 压电薄膜制备技术
第一章 压电薄膜基础理论
1.1 薄膜生长与薄膜结构
1.2 压电原理与铁电效应
参考文献
第二章 压电薄膜制备技术与进展
2.1 压电薄膜的制备方法
2.2 压电薄膜研究进展
2.3 压电薄膜性能表征
参考文献
第三章 三元系PMnN-PZT铁电薄膜的研究
3.1 铁电材料发展简介
3.2 三元系PMnN-PZT铁电材料特性
3.3 三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与性能表征
参考文献
下篇 薄膜压电器件制备技术
第四章 声学器件原理与应用
4.1 压电器件的分类
4.2 声学器件原理与应用
参考文献
第五章 薄膜体声波谐振器理论研究
5.1 薄膜体声波谐振器的研究进展与热点
5.2 传输矩阵法理论
5.3 薄膜体声波谐振器理论仿真与模拟
参考文献
后记
