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JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法

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  • 大小：15.74 MB
  • 语言：日文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：JIS标准
  • 更新日期：2022-12-01
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关键词：器件   微机   体能   振动   驱动
资源简介
JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法
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