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GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性

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资源简介
本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。
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