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GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性

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资源简介
本文件规定了相移干涉法（PSI）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。
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