本文件界定了电子探针显微分析（EPMA)实践中使用的术语，包括一般概念的术语和按仪器、分析方法分类的特定概念的术语。本文件适用于相关领域(SEM、AEM、EDX等)的所有标准和实践文件中通用术语的定义。
标准号：GB/T 21636-2021
标准名称：微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语
英文名称：Microbeam analysis—Electron probe microanalysis(EPMA)—Vocabulary
替代以下标准：GB/T 21636-2008
采用标准：ISO 23833:2013《微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语》 IDT 等同采用
起草人：曾毅、李香庭
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
