本文件规定了如何报告X射线光电子能谱的峰拟合及其结果。本文件适用于单个谱图或一组相关谱图的拟合，例如在深度剖析测试中采集获得的一组相关谱图。本文件提供了一个应报告的参数列表，以实现可重复的峰拟合或对多个谱进行拟合与比较。本文件不提供峰拟合的操作说明，也不提供应采用的拟合步骤。
标准号：GB/T 41073-2021
标准名称：表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
采用标准：ISO 19830:2015
采标名称：《表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求》
采标程度：IDT 等同采用
