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GB/T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
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7.08 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
标准规范
更新日期:
2022-01-02
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关键词:
校准
离子
飞行
质谱仪
质量
资源简介
GB∕T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱(SIMS)仪器的质量校准准确度的方法。本文件仅适用于飞行时间仪器,但并不限于任何特定的仪器设计。本文件提供了对一些仪器参数优化的指导,这些参数能使用此程序进行优化,还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。
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