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GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

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大小：1.6 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：标准规范
更新日期：2020-05-18

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关键词：铰链驱动器扫描纳米陶瓷

资源简介

GB∕T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

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