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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

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  • 大小：5.31 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：标准规范
  • 更新日期：2019-09-28
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关键词：集成电路   模型   工艺   装备   设计
资源简介
GBT 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
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