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GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

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语言：中文版
格式： PDF文档
类别：标准规范
更新日期：2018-03-27

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关键词：梯度应变微机基于干涉

资源简介

GB∕T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

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