本文件规定了碳化硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于在导电型碳化硅衬底上，生长碳化硅同质外延层的外延片，产品用于制作碳化硅电力电子器件。
标准号：GB/T 43885-2024
标准名称：碳化硅外延片
英文名称：Silicon carbide epitaxial wafers
引用标准：GB/T 2828.1-2012 GB/T 6624 GB/T 14146 GB/T 14264 GB/T 19921 GB/T 29505 GB/T 30656 GB/T 32278 GB/T 39145 GB/T 42902 GB/T 42905 YS/T 28
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
