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GB/T 14264-2024 半导体材料术语

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格式： PDF文档
语言：中文版
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资源简介

本文件界定了半导体材料的一般术语和定义，材料制备与工艺及缺陷的术语和定义，以及缩略语。
本文件适用于半导体材料的研发、生产、制备及相关领域。

标准号：GB/T 14264-2024
标准名称：半导体材料术语
英文名称：Terminology of semiconductor materials

替代标准：GB/T 14264-2009

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

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