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Cu含量对TiN－Cu纳米复合膜结构与性能的影响

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  • 大小：1.1 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：材料论文
关键词：复合   纳米   性能   含量   膜结构
资源简介
  • Cu含量对TiN－Cu纳米复合膜结构与性能的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:复合,纳米,性能,含量,膜结构
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