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KH-550硅烷偶联剂对半导体制造用碳化硅粉体表面的改性研究

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  • 语言：中文版
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  • 类别：材料论文
关键词：
资源简介
  • KH-550硅烷偶联剂对半导体制造用碳化硅粉体表面的改性研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:对半,体表,导体,制造,碳化硅
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