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等离子体增强磁控溅射沉积碳化硅薄膜的化学结构与成膜机理

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  • 类别：化学工程
关键词：
资源简介
  • 等离子体增强磁控溅射沉积碳化硅薄膜的化学结构与成膜机理,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:薄膜,沉积,化学,增强,磁控溅射
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