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O2流量比对直流对向靶磁控溅射TiO2薄膜光催化性能的影响

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  • 类别：化学工程
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资源简介
  • O2流量比对直流对向靶磁控溅射TiO2薄膜光催化性能的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:直流,薄膜,流量,性能,磁控溅射
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