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能量平衡法静电驱动柔性振膜微泵特性分析

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  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:自动化论文
关键词:
资源简介
  • 能量平衡法静电驱动柔性振膜微泵特性分析,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:静电,驱动,特性,能量,平衡