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等离子体化学气相沉积氮化镓薄膜中的N2∕TMG等离子体发射光谱分析

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：化学工程
  • 更新日期：2023-02-09
关键词：薄膜   沉积   化学   中的   等离子体
资源简介
  • 等离子体化学气相沉积氮化镓薄膜中的N2∕TMG等离子体发射光谱分析,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:薄膜,沉积,化学,中的,等离子体
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