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斜梁型电热微致动器的输出位移计算及实验

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：光学工程
关键词：电热   位移   输出   计算   实验
资源简介
  • 斜梁型电热微致动器的输出位移计算及实验,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:电热,位移,输出,计算,实验
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