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静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：光学工程
关键词：静电   驱动   特性   悬臂梁   谐振器
资源简介
  • 静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:静电,驱动,特性,悬臂梁,谐振器
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