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集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：光学工程
关键词：传感器   集成   金属   制作   悬臂梁
资源简介
  • 集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:传感器,集成,金属,制作,悬臂梁
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