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基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：光学工程
关键词：传感器   基于   悬臂梁   质量   设计
资源简介
  • 基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:传感器,基于,悬臂梁,质量,设计
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