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基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器

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  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:光学工程
关键词:式微   腐蚀   基于   机械   停止
资源简介
  • 基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:式微,腐蚀,基于,机械,停止