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应变式微型精密压电驱动器的一体化设计及其PID控制

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  • 大小：1.73 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：仪器仪表
关键词：式微   驱动器   精密   应变   一体化
资源简介
  • 应变式微型精密压电驱动器的一体化设计及其PID控制,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:式微,驱动器,精密,应变,一体化
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