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一种低温制备的高灵敏度MEMS电容传声器

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  • 大小：3.76 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：仪器仪表
关键词：电容   灵敏度   制备   低温   一种
资源简介
  • 一种低温制备的高灵敏度MEMS电容传声器,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:电容,灵敏度,制备,低温,一种
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