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MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究

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  • 大小：1.97 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：自动化论文
关键词：测试   制作   设计   结构   压力传感器
资源简介
  • MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:测试,制作,设计,结构,压力传感器
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