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MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究

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  • 大小:1.86 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:自动化论文
关键词:器件   失效   惯性   模式   机理
资源简介
  • MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:器件,失效,惯性,模式,机理