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MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究
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1.86 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
自动化论文
关键词:
器件
失效
惯性
模式
机理
资源简介
MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究,资料为PDF文档格式.
本文档关键词:器件,失效,惯性,模式,机理
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