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MEMS器件中多层金属薄膜溅射工艺研究

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  • 大小:1.02 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:自动化论文
关键词:器件   薄膜   多层   金属   工艺
资源简介
  • MEMS器件中多层金属薄膜溅射工艺研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:器件,薄膜,多层,金属,工艺