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四步法制备高质量硅基砷化镓薄膜

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  • 大小：3.06 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：化学工程
关键词：步法   制备   薄膜   质量   硅基砷化镓
资源简介
  • 四步法制备高质量硅基砷化镓薄膜,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:步法,制备,薄膜,质量,硅基砷化镓
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