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用热CVD法超微粒子涂覆装置制取SiC—Si3N4

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：材料论文
关键词：装置   制取   微粒子   CVD   SiC
资源简介
  • 用热CVD法超微粒子涂覆装置制取SiC—Si3N4,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:装置,制取,微粒子,CVD,SiC
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