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ALD氧化铝薄膜介电性能及其在硅电容器的应用

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  • 大小:1.91 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
关键词:薄膜   性能   及其   应用   氧化铝
资源简介
  • ALD氧化铝薄膜介电性能及其在硅电容器的应用,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:薄膜,性能,及其,应用,氧化铝