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超声椭圆振动复合化学机械研磨硅片运动轨迹仿真研究

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  • 大小:1.81 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:机床论文
关键词:硅片   研磨   椭圆   仿真   轨迹
资源简介
  • 超声椭圆振动复合化学机械研磨硅片运动轨迹仿真研究 ,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:硅片,研磨,椭圆,仿真,轨迹