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工艺参数对直流磁控溅射法制备氧化铝薄膜的试验研究

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  • 大小：3 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：机床论文
关键词：直流   薄膜   参数   工艺   试验
资源简介
  • 工艺参数对直流磁控溅射法制备氧化铝薄膜的试验研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:直流,薄膜,参数,工艺,试验
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